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Tescan 以 FemtoChisel 飛秒雷射技術擴展半導體工作流程

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Admin 十一月 27, 2025 0

捷克布爾諾2025年11月14日 /美通社/ — Tescan 以下一代飛秒雷射平台 FemtoChisel 擴展其半導體設備產品組合。此平台專為提升半導體樣品製備工作流程而設計,兼具高速、精準、可重現性與高品質。

Tescan FemtoChisel: Femtosecond processing, faster sample preparation.
Tescan FemtoChisel: Femtosecond processing, faster sample preparation.

FemtoChisel 專為半導體研究與故障分析環境打造,在半導體領域中,產出速度與可適應性同等重要。藉由奈米等級的精度與優異的高生產速度所結合的智慧雷射加工,FemtoChisel 能夠產生極為潔淨的表面,同時大幅降低後續 FIB 拋光步驟的需求,讓針對現今與未來半導體材料的研究與失效分析得以更快速完成。

「半導體研究與故障分析團隊持續面臨壓力,需要針對半導體堆疊中的任一材料層提供,更快、更可靠地分析結果。透過 FemtoChisel,我們在 Tescan 的半導體大體積工作流程(Large Volume Workflow for Semiconductors)中回應了這項挑戰。」Tescan 首席營收長(Chief Revenue Officer)Sirine Assaf 表示。「這不只是一台新儀器 – 它是工作流程的加速賦能者。藉由結合飛秒雷射的精度與智慧自適應式雷射處理流程,我們協助實驗室加速樣品製備、降低重工,並為日益複雜的產品結構帶來絕佳的清晰度。」

FemtoChisel 的工作流程優勢包括

  • 自適應多材料加工:整合 高能量密度雷射加工(High Fluence Laser Machining)、專利智慧型多氣體處理與雷射保護層,在金屬、高分子與先進封裝堆疊之間維持裝置完整性。
  • 高效率到達深層結構:利用錐度校正補償與專利無殘屑的剖面技術 – 幾乎可免除後續 FIB 精細拋光。
  • 可選擇樣品背向減薄:達到鏡面般的表面(Ra < 0.4 µm)實現沒有artifacts的光學故障分析。
  • 大面積去層(> 5 mm):具自動停點,以雷射速度進行精準的逐層去除。
  • 透過將雷射加工、電子顯微鏡與 FIB 整合為互補的工作流程,Tescan 正協助半導體創新者突破樣品製備的傳統瓶頸。FemtoChisel 同時滿足程式驅動的生產環境與彈性研究需求,適用於先進封裝與研發實驗室,為現今與未來的半導體需求提供多功能解決方案。

Tescan 對整合式工作流程的承諾,亦因收購 FemtoInnovations 後成立的 雷射技術事業單位(Laser Technology Business Unit) 而進一步強化。此專責團隊將持續在半導體產業推進雷射輔助樣品製備技術的創新。

關於 Tescan

Tescan 協助材料與地球科學、生命科學以及半導體產業在奈米尺度進行研究與分析。擁有創新的掃描式電子顯微鏡、FIB 與飛秒雷射技術,Tescan 提供工作流程解決方案,加速全球學術機構、產業領袖與研究實驗室的探索與問題解決。

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全面的系統-技術協同優化 (STCO) 方法,是降低 AI 工作負載下 GPU 和 HBM 峰值溫度,同時提升未來 GPU 架構的效能密度的關鍵 比利時魯汶2025年12月10日 /美通社/ —  Imec 發佈了首項採用系統-技術協同優化 (STCO) 方法,針對 3D HBM-on-GPU(高頻寬記憶體堆疊於圖像處理器上)整合進行的全面散熱研究。 這項研究有助於識別及緩解一種極具潛力的下一代 AI 運算系統架構中的散熱瓶頸。 在實際的 AI 訓練工作負載下,GPU 的峰值溫度可從 140.7°C 大幅降至 70.8°C。 「這也是我們首次展示 Imec 全新跨技術協同優化 (XTCO) 計劃,在開發散熱更穩健的先進運算系統方面的能力。」– Julien Ryckaert, Imec。 關於 imecImec 是先進半導體技術領域的世界領先研究與創新中心。憑藉其最先進的研發基礎設施和超過 6,500 名員工的專業知識,Imec 推動了半導體和系統微縮、人工智能、矽光子技術、連接性和傳感技術的創新。 Imec 的前沿研究為計算、健康、汽車、能源、信息娛樂、工業、農業食品和安全等多個行業的突破提供了動力。透過 IC-Link,Imec 引導企業完成晶片之旅的每一步——從最初的概念到全面生產——提供量身定制的解決方案,以滿足最先進的設計和生產需求。 Imec 與半導體價值鏈上的全球領導者,以及法蘭德斯地區和世界各地的科技公司、初創企業、學術界和研究機構合作。Imec 總部位於比利時魯汶,在比利時、歐洲各地和美國設有研究設施,並在三大洲設有代表處。2024 年,Imec 錄得營收 10.34 億歐元。如欲了解更多資訊,請瀏覽:www.imec-int.com 完整新聞稿:https://www.imec-int.com/en/press/imec-mitigates-thermal-bottleneck-3d-hbm-gpu-architectures-using-system-technology-co

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研發合作最新進展:緊湊型可調式超透鏡模組推進3D非接觸式指紋生物辨識技術邁向智能手機整合應用

新加坡2026年3月2日 /美通社/ — MetaOptics Ltd (Catalist: 9MT)(「MetaOptics」或「公司」,連同其子公司統稱「集團」)宣布推動開發一款針對3D非接觸式指紋生物辨識技術的緊湊型光學模組,旨在支援未來智能慧手機整合應用的可能性。本項目在現有3D感測技術基礎上進一步優化,透過縮減光學堆疊體積並引入電子調諧技術,以取代傳統機械運動,從而提升影像性能與系統可靠性。 本項計畫與一家新加坡國家級半導體研發機構合作進行,該機構致力於先進半導體技術的商業化。此合作有助於加速尖端光學研究成果邁向可量產與可擴展的解決方案,以應用於下一代安全身分識別系統。 此光學模組的核心為一組可調式平面透鏡堆疊結構,由兩片超薄超透鏡組成。與傳統弧形鏡頭不同,這些具奈米結構的平面光學元件能在極為緊湊的架構內精準聚焦與控制光線。每片超透鏡皆製作於玻璃基板上,兩者之間以約100微米厚的液晶(LC)層分隔,其厚度大致相當於一根人類頭髮。 透過在液晶層上施加電壓,可以對堆疊體的光學特性進行電子調節,使其於極小體積內達到可變焦光學響應,無需傳統體積龐大或易受損的機械對焦組件。 設計規格上,每片直徑2.0毫米的超透鏡安裝於厚度0.775毫米的玻璃基板上,形成1.65毫米的光學堆疊,整體模組目標厚度約5毫米,以支援安裝於尺寸受限的消費性電子設置中。該展示樣機採用波長532奈米的綠光作為光源,搭配單色影像感測器與控制電路,用於在受控環境下捕捉高細節紋理的指紋立體特徵。 MetaOptics系統開發副總裁Tobias W. W. Mass博士表示:「我一直致力於研究像素尺寸極小的液晶式空間光調制器(LC-based Spatial Light Modulators, SLMs),這是一類極具挑戰性的電光系統,需要在極其緊湊的結構中實現穩定且可重現的調諧效果。將此經驗應用於建立超透鏡影像系統的自動對焦機制,是MetaOptics邏輯上的技術延伸。我們選擇液晶調諧方案,是因為此科技平台成熟且具高度光學設計自由度,同時可實現全電子控制。與以VCM為基礎的機械對焦機制相比,我們的方案更具可量產性與良率優勢。」 他補充道:「此研發計畫直接建立於我們第一代3D非接觸指紋模組的核心經驗之上。透過這款新一代可調式超透鏡解決方案,我們預期可將模組厚度顯著縮減至約5毫米封裝尺寸,便於安裝於空間受限的消費性電子產品中,如5G智能手機與筆記型電腦。值得一提的是,市場上多數生物辨識模組屬於被動式設計,而我們的可調式超透鏡堆疊採主動式光學架構,可電子方式自動優化指紋成像品質,藉由提升3D辨識精度,提供更高安全性,同時實現潔淨、無接觸的操作體驗,取代傳統接觸式2D指紋方案。」 公司計劃於2027年1月在美國拉斯維加斯舉行的CES 2027展會上展示此新一代3D生物辨識可調式光學模組。該模組搭載先進可調式超透鏡,不僅大幅提升指紋細節成像精度,亦具備更小型化結構及更佳衛生性,相較現有2D生物辨識技術性能更為優越。 隨著研發進展,本公司將持續發布進一步更新。 董事會謹此公告 程章金執行主席2026年3月2日 關於 MetaOptics Ltd MetaOptics Ltd (Catalist: 9MT) 為領先的半導體光學公司,專注研發以玻璃基板為核心的超透鏡解決方案,並結合AI驅動的影像處理技術。憑藉先進光學設計與可擴展的12英吋DUV光刻製程,MetaOptics為CPO、行動裝置、擴增實境/虛擬實境(AR/VR)、車用電子及其他新興市場的次世代應用提供支撐。公司總部位於新加坡,致力於提供高效能、具可靠性及可規模量產的光學方案,滿足今日最具創新精神的科技品牌需求。詳情請瀏覽:www.metaoptics.sg。

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